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硅光Die芯片自動耦合測試機臺

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硅光Die芯片自動耦合測試機臺

耦合功能介紹

1 、本設備采用單邊自動六軸設計,XY軸行程20mmZ軸行程30mm,可進行單邊全自動耦合;

2 、采用松下渦電流傳感器,對耦合膠層距離(精度±1um)進行控制;

3 、采用自動六軸配合高精度松下渦電流傳感器,Θx,θy方向的角度進行自動調節(調節精度 0.005°,通過軟件算法實現θz方向角度自動調節;

4 、夾具采用快切,可適應不同類型寬度芯片,支持切換夾具進行垂直耦合;
5
、 配置Bar條軸可自動測試多顆芯片;

5 、配置23軸電動探針座,支持芯片自動下探針,探針座上裝載壓力傳感器,可防止撞擊;

6 、所有運動軸均采用日本駿河步進電機,重復性高且穩定性好;

7、 耦合到最佳位置后,光功率值在1min內波動小于0.1dB ;

8、 耦合后的光功率值 P1 與手動耦合的最大光功率值 P2 的差異≤±0.2dB ;

9、 獨特的工裝和FA夾具設計,盡量兼容使4~28通道產品高效定位;

10 、采用快切夾具方案可快速切換不同芯片測試;


測試功能介紹

1、光光掃譜功能:兼容(TLS+PCU+7745)和( TLS+PCU+GT82011-P8 )兩種配置掃描光譜,支持穆勒矩陣算法計算,支持定制算法分析數據;

2、電電測試功能:可實現掃描I/V功能,V/I功能(掃描電壓記錄電流、掃描電流記錄電壓);

3、光電掃譜功能:可調光源掃描波長、記錄電流值;

4、電光掃描功能:掃描電壓/電流,記錄光功率;

5FD測試功能:支持多種產品的光光、光電性能集成測試;

6、支持客戶指定源表(需提供通訊協議)

7、支持客戶自定義測試數據報表和各種輸出文件;

8、支持MES系統對接和多通道電路板調試等功能;

9、支持客戶規格書提到的其他相應測試功能實現;
10
、支持二次開發客戶自供矢量分析儀等測試儀器;


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